招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-10-31在采购与招标网发布 光刻机　　竞争性磋商公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 一、项目名称：光刻机二、项目编号：S（略）三、采购人：（略）地址：（略）数量及主要性能参数要求光刻机　　1套（一）主要技术性能指标要求1.曝光面积：（略）mm×（略）mm2.曝光照度不均匀性≤3%3.曝光强度：LED≥（略）mwcm2可调4.紫外光束（略）≤2°5（略）波长：（略）nm，（略）nm，（略）nm6.紫外光源寿命：LED≥2（略）小时7.（略）离量：0μm～≥（略）μm可调8.对准精度≤1μm9.曝光精度：密着曝光1μm，接触曝光2μm（略）.曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光（略）.曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光（略）.基片定位：切边定位（略）.图（略）：对准范围（略）.Y≥±5mm，升旋转（略）度Q≥±3°，显微镜两个镜头（略）控制（略）.掩模版尺寸：3″×3″、5″×5″、7″×7″（略）.晶圆尺寸：2″、4″、6″（略）.对位（略）：C#（略）.找平方式：气悬浮自动找平（略）.镜头倍数：4倍（显示放大（略）倍）（略）.对位台升降：Z≥±（略）mm（略）.曝光定时：0秒～（略）.9秒可调（略）.对位方式：可选自动手动（略）.对位方式：摇杆或鼠标控制（二）质保期不少于（略）年（验收合格后起算）。五、评（略）标准本次磋商采用综合评（略）法，总（略）为（略），具体内容如下：（一）技术参数、配置及（略）体综合性能（略）（（略））1．技术参数及配置（（略））以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣3（略）。2．综合性能情况（（略））（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6（略））。其中优于项，每处加2（略）。（2）所提供（略）场反馈情况（9（略））。根据所提供产品的品牌影响力、（略）场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。（二）价格（略）（（略））1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满（略）；2．其他供应商的报价得（略）按照下列公式计算：报价得（略）＝（基准价／报价）×（略）。（（略）（（略））1．综合实力（3（略））根据供应商综合实力评定。2．售后服务与培训情况等（（略））（1）质保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年质保期加1（略）。（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7（略））。根据磋商响应文件（略）点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。3．其它优惠措施等（2（略））根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。七、供应商资质要求（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）本项目不接受联合体报价。八、磋商响应文件的组成（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部（略）表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：1.目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。2.磋商响应函（原件）。3.响应基本情况一览表（原件）。4.详细配置清单（原件）。5.技术规格偏离表（原件）。6.（略）业绩、公司荣誉等，原件）。7.资格证明材料（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。（2）法定代表人授权书（原件）。（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、护照等）（复印件）。（4）法人授权代表（略）明材料（如（略）、护照等）及单位社保证明（复印件）。（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。（8（略）出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。8.服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。9.供应商认为应该提供的其他材料。（二）特别说明1.“磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。2.正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服（略）要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第（略）条中的要求执行。十、磋商文件价格：人民币（略）（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。十一、供应商在（略）前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）：（略）前将（略）函（略）响应文件相关事宜：（一）顺丰快递（建议优先采用）1.寄达时间：（略）年（略）月（略）日9：（略）前；2.收件人信息：　收件人：（略）系方式：（略）　收件地址：（略）1.（略）递交时间：（略）年（略）月（略）日9：（略）～9：（略）.（略）递交地址：（略）日9：（略）。十四、磋商时间：（略）年（略）月（略）日9：（略）。　　　　磋商性公告附件.zip（略）查看原文