招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托的项目评审工作已圆满结束，于2025-10-13在采购与招标网发布 程鑫老师课题组磁控溅射阴极、直流和射频电源等采购成交公告，现将成交供应商名单公告。 Print南方科技大学  SUSTech-JC-（略）-（略）竞采结果公告项目名称程鑫老师课题组磁控溅射阴极、直流和射频电源等采购项目编号（略）JC-（略）-（略）项目类型货物类成交方式最低价成交公示时间本公告自发布（略）成交金额（略）.（略）成交理由最低价成交预算（略）.0项目预算是否含税进口免税备注响应情况采购明细序号名称数量单位单价（略）报价总价（略）报价1射频电源1台（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌TRUMPF型号TruPlasmaRF（略）-（略）生产厂商TRUMPFHüttingerGmbH产地信息波兰技术规格及参数1.1输出功率范围：（略）-（略）W1.2输出频率：（略）.（略）MHz1.3输入电压：（略）-（略）V1.4阻抗：（略）Ω1.5频率精度：（略）,（略）MHz±0,（略）%1.6输出功率精度：±1W（数字控制）±2W模拟量1.7抑弧功能，减少打弧，提升膜层性能1.8RF输出：HNfemaleconnector.（略）socket1.9Arcdetection：3μs1.（略）通讯接口：□Profibus.□Ether（略）T.□DeviceNet.□Matchbox.质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。2直流脉冲电源1台（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌TRUMPF型号TruPlasmaDC（略）G2.1生产厂商TRUMPFHüttingerGmbH产地信息波兰技术规格及参数2.1功率：1KW2.2输出电压：（略）V2.3输出电流：3.3A2.4输出频率：0-（略）KHz2.5精度：±1%2.6通讯接口：□Remote-RS-（略）□Remote-RS-（略）□Remote-Profibus□Remote-USB□Remote-DeviceNet□Remote-Ether（略）T□Remote-ProfiNet质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。3高能脉冲发生器1台（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌MELEC型号SPIK（略）A-EF-（略）生产厂商MelecGmbH产地信息德国技术规格及参数3.1平均功率：2KW3.2脉冲最大输出功率：（略）K脉冲最大输出电流：+-（略）Amax.≤2kHz;+-（略）Amax.≤（略）,5kHz;+-（略）Amax.≤（略）kHz;+-（略）Amax.≤（略）kHz3.3脉冲导通时间:5µs–（略）ms3.4脉冲关断时间:5µs–（略）ms3.5快速电弧检测与抑制，时间小于2µs3.6FPPG（自由脉冲模式控制器，最多支持8个脉冲）3.7冷却方式：水冷质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。4直流电源1台（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌ADL型号GS（略）生产厂商ADLAnalogeDigitaleLeistungselektronikGmbH产地信息德国技术规格及参数4.1输出功率：2Kw4.2输出电压：（略）V4.3输出电流：2.8A4.4电流电压功率显示4.5控制方式：可控制电流、电压或功率4.6工作模式：通过前面板手动控制，或通过控制接口外部控制4.7设定值：针对电流、电压或功率，可设为额定值的0...（略）%4.8输出精度：针对电流、电压和功率，为额定值的±1%4.9冷却方式：风冷，内置风扇，最高环境温度（略）℃质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。5磁控溅射阴极（核心货物）2套（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌KS型号PMI（略）产地信息中国技术规格及参数5.1可升降矩形阴极（靶面尺寸：~（略）mm*（略）mm）5.2耐高温磁铁（耐受温度（略）度）5.3阴极最高工作温度（略）度5.4磁场均匀性优于±2%5.5基片表面范围内镀膜优于±2%；（略）设计满足镀膜均匀性要求5.6阴极漏率：1.0*（略）-（略）Pa.m3s5.7具备兼容直流、脉冲直流和射频溅射5.8升降机构能够手动调节，最大可调距离为8cm，调节精度为0.5mm。质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。6射频匹配器1台（略）.（略）.0是否接受进口接受进口品牌TRUMPF型号TruPlasmaMatch（略）G2（略）产地信息中国技术规格及参数6.1输入电压（略）VDC6.2最大输出电压（略）V6.3最大输出电流（略）A6.4UDCmax=（略）V6.5通讯接口：SystemPort□USB□RS（略）□ECat□RS（略）质保期质保一年售后要求保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。保修期届满后，合同货物需要更换（略）部件的，乙方只收取（略）部件的成本费，不收人工服务费用。付款方式合同生效并收到相应发票后（略）合同总额的（略）%作为进度款；设备到达指定安装（略）且安装、调试验收合格并提供全额发票后（略）合同总额的（略）%。交货期合同签订后（略）天（自然日）内，具体（略）要求提前7天（自然日）通知送货（略）查看原文