招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托的项目评审工作已圆满结束，于2025-10-21在采购与招标网发布 材料系原子层沉积设备采购终止公告，现将成交供应商名单公告。 Print南方科技大学  SUSTech-JC-（略）-（略）终止公告项目名称材料系原子层沉积设备采购项目编号（略）JC-（略）-（略）项目类型货物类成交方式最低价成交采购方式公开竞采终止理由项目发布公告后，如需终止后续采购活动，应按照《项目终止审批流程》完成审批公告发布时间（略）-（略）-（略）:（略）:（略）预算（略）.（略）项目预算是否含税国产含税备注采购明细序号名称数量单位1原子层沉积设备（核心货物）1台（套）是否接受进口拒绝进口品牌无推荐品牌型号无推荐型号技术规格及参数1.机架：1.1▲框架采用铝型材搭建，重量轻便、承载能力强，散热性好。1.2▲外壳采用碳钢烤漆及圆（略）处理，轻便美观。左右及后外壳采用磁力扣+平面锁固定方式，便于拆装。前外壳可根据使用空间选择开合或拆卸方式。1.3▲显示屏（略）度自由旋转，可调视距、视（略）、自由悬停。2（略）:2.1▲可支持直径（略）mm基片。2.2▲腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。2.3▲自动开关腔门设计，配备腔门关闭检测开关。2.4▲喷淋设计，进气自上而下流经衬底。2.5▲腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。2.6▲样品台加热温度可达（略）℃，温度控制精度±1℃。3.（略）（6（略））：3.1▲配备6（略）前驱（略）：2（略）常温源，适用于饱和蒸汽压较高的源，4（略）可加热源，适用于需要加热的固态或液态源。3.2▲（略）源均配备阀门、手动阀和不锈钢源瓶。3.3▲（略）源均配备载气（N2），（略）配备计量阀、阀门。3.4▲不（略）及接头均采用EP等级，经过电解抛光处理；（略）连接部件采用金属VCR密封。3.5▲前驱体源瓶与腔体（略）配备模块（略），（略）直（略）接头、源瓶手动阀连接处等位置无冷凝点。源（略）的控温范围：室温～（略）℃，控制精度：±1℃。3.6▲提供N2（略）接口用于吹扫，N2采用高精度MFC进行流量控制。4（略）（2（略））：4.1▲H2O（略）配备阀门及水源瓶。4.2▲提供N2（略）接口用于吹扫，N2采用高精度MFC进行流量控制。5（略）：5.1▲配置标准油泵，用于抽真空。5.2▲配备两个真空规用于压力测量，保证真空及大气时的测量精度。1个真空薄膜规用于工艺时高精度测量，量程范围：0.（略）Torr~（略）Torr，1个真空规用于测量至大气压，量程范围：1Torr~（略）Torr。5.3▲（略）配备加热装置，加热可达（略）℃，控温精度为±1℃。6（略）：6.1▲选用工业用电源，质量可靠，寿命长。6.2▲采用电感耦合远程等离子体源，频率（略）.（略）MHz，功率可选配。6.3▲配备自动匹配器，能够自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。6.4▲腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。6.5▲腔体与等离子体装置之间集成隔离装置。6.6▲配置1（略）等离子体反应气，（略）配备质量流量计及阀门。7（略）：7.1（略）集成国产臭氧发生器和毁灭器。7.2▲臭氧发生器通过调节氧气流量来调节臭氧产量。7.3▲臭氧产量：7gh，臭氧浓度范围：（略）.5-（略）.0gm³。7.4（略）配备流量计调节氧气流量。7.5▲配备毁灭器用于处理残留的臭氧。8（略）：8.1（略）采用PLC+工控机+（略）寸（略）进行通讯。采用PLC对设备进行实时控制，同时实现基于W（略）的人机界面互动。8.2▲输入方式：鼠标、键盘和触摸屏。8.3▲支持逻辑互锁功能，防止用户误操作，并弹出信息对话框进行提示。8.4▲支持“一键沉积”功能，（略）运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。8.5▲支持配方编辑功能，配备单一材料和多层材料两种模式的配方编辑，可实现单层、掺杂或复合材料的沉积。8.6▲支持实时监测、历史数据、报警及日志功能，配方内容、工艺运行时的压力、温度、时间等参数可（略）保存。8.7▲支持源瓶维护功能，配备独立的源瓶更换操作界面，可（略）清洗（略），用户根据流程逐步正确完成更换源瓶操作，提高用户操作的安全性。8.8▲支持用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全。8.9▲支持安全及提醒参数配置、IO互锁列表信息功能，用户可自定义设备报警范围，可通过源瓶使用情况记录了解前驱体源用量。9（略）：9.1▲（略）进行隔热处理，防止可接触位置温度过高造成伤害。9.2▲潜在的安全相关位置均粘贴安全标签用于提示用户潜在的风险及防范措施。例如：高温、危险电压等标签。9.3▲电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁（Interlock）功能，防止误操作的发生，保证设备和人身安全。（略）.制程工艺及服务：（略）.1▲除提供成熟的制程配方工艺之外，可以协助开发新材料的工艺制程配方，（略）工艺摸索的时间，提升科研效率及成果。质保期（略）年售后要求1.质保期：中标人提供制造商免费质保（略）年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知（略）小时内赶到（略）进行修理或更换，保修期间维修及（略）件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。如未按上述约定，在收到通知后2个工作日内维修或更换不符或有缺陷的货物或部件，则甲方有权采取必要的补救措施并追究乙方的违约责任，由此导致的责任和费用由乙方承担。2.维修响应时间：前述保修期内，如本合同项下的货物出现损坏和故障，则乙方应在接到甲方通知后（略）小时内赶到（略）免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的（略）部件。并在（略）小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。3.验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完（略）的技术资料；b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求；c、货物具备产品合格证。4.技术培训：在用户所在地对用户给予一年内免费搬迁已安装调试完毕的合同货物1次、免费调试已安装调试完毕的本合同项下货物1次、免费培训服务1次。付款方式货到指定地点、安装验收合格并提供全额发（略）确认无质量问题后（略）％的货款。交货期合同签订后（略）天（自然日）内，具体（略）要求提前7天（自然日）通知送货（略）查看原文