招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2022-11-30在采购与招标网发布 东南大学微纳系统国际创新中心反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目公开招标公告(19864)。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 公告概要：公告信息：采购项目名称东南大学微纳（略）反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目品目货物专用设备专用仪器仪表其他专用仪器仪表采购单位东南大学行政区域江苏省公告时间（略）年（略）月（略）日（略）获取招标文件')" rel="nofollow" style="color:red;" title="标书制作">招标文件时间（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日每日上午（略）至（略）下午（略）至（略）（北京时间，法定节假日除外）招标文件售价￥（略）获取招标文件的地点中（略）址为（略）.（略）***开标时间（略）年（略）月（略）日（略）开标地点南京市鼓楼区清江南路（略）号（略）D栋（略）楼开标室1；为避免人员聚集，投标人代表须携带本人（略）及当日项目（略）（介绍信）进入开标区，投标人代表原则上不超过2人。投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投标截止时间前3个月（（略）年9月-（略）月）的社保缴纳证明材料。预算金额￥（略）.（略）（人民币）联系人及联系方式：项目联系人微纳（略）：朱老师项目联系电话（略）-（略）采购单位东南大学采购单位地址南京市四牌楼2号采购单位联系方式微纳（略）：朱老师，（略）-（略）；实验室与设备管理处：刘老师，联系方式（略）-（略）代理机构名（略）代理机构地址南京市鼓楼区清江南路（略）号（略）D栋9楼（略）室代理机构联系方式李晨娟；（略）-（略）附件：附件1招标公告--东南大学微纳（略）反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目.docx项目概况东南大学微纳（略）反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目招标项目的潜在投标人应在中（略）址为（略）.（略）***获取招标文件，并于（略）年（略）月（略）日（略）点（略）（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号（略）项目名称：东南大学微纳（略）反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目预算金额（略）.（略）（人民币）最高限价（如有）（略）.（略）（人民币）采购需求：预算金额（略）（不含外贸代理费）项目地址：（略）离子束刻蚀ICP-RIE一套，主要技术要求如下：（1）样品台最大可处理8寸晶圆，不规则片可采用托盘方式处理（2）下电极为液氮制冷电加热式有内置PID控制加热器，温度控制范围为-（略）度至（略）度，温度控制精度为+-2度，并配备独立冷却机，温度控制范围为-（略）度到（略）度，温度控制精度为+-0.5度（3）刻蚀腔极限真空度（略）-6Torr，漏率1mTorrmin（4）刻蚀均匀性+-5%（略）mm晶圆，重复性+-3%（5）ICP功率3kW2MHz，RF功率（略）W（略）.（略）MHz接受进口产品投标，技术参数详见招标文件合同履行期限：进口产品在开具信用证后（略）个月内设备安装调试合格，国产设备签订合同1个月内交付并安装调试合格。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求（略）采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求（略）.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其（略））；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供（略）年度的财务报告，或投标截止时间前六个月内银行出具的资（略）采购专业担保机构出具的投标担保函）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金（略）采购活动前半年内至少一个月缴纳增值税，或营业税，或企业所得税的凭据；并提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单））；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无2.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无。2.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：（1）代理商投标且所投产品为进口产品的，还应提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理（略），并明确承担一切售前、售后责任。2.4第2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。2.5供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经（略）采购活（略）采购活动。2.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（略）采购活动。为采购项目提供（略）体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。2.7拒绝列入失信被执行人、重大（略）采购严重违法失信（略）采购活动。采购代（略）”（略）站等渠道查询投标人信用记录并保存。3.本项目的特定资格要求：见上文三、获取招标文件时间（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日，每天上午9（略）至（略），下午（略）至（略）。（北京时间，法定节假日除外）地址：（略）：（1（略）电子招标文件（略）将对（略）者注册信息与其提供扫描件信息进行一致性检查。注册为一次性工作，以后若有需要可变更及完善相关信息；注册成功后（略）上所有发布的采购项目；同一单位不同的经办人可各自建立不同账户。（2）（略）注册、信息检查、资料（略）、费用（略）所需时间，（略）者必须在前述时间段内完成（略），否则将无法保证获取电子招标文件。（3）（略）者需要（略）“发票管理”模块进行操作。招标文件服务费及（略）费发票由采购代理机构出具；（略）者选择出具增值税普通发票的，可在（略）后3日内登（略）前述模块（略）增值税电子普通发票；选择出具增值税专用发票的，可在开标（略）服务费（略）公司）自动出具增值税电子普通发票，（略）者可在（略）后3日内登（略）前述模块（略）原因，发票一经开具不予退换。（4（略）站首（略）”提供操作手册，（略）者可以（略）并根据操作手册提示进行注册、（略）、（略）、发票（略）咨询电话为（略）-（略），服务时间为工作日上午9时至（略）时，下午1时到6（略）会通过短信提醒（略）者进行注册、（略）、（略）等操作。（5）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权（略）注册、（略）文（略）的（略）行为，对联合体各方均具有约束力。招标文件服务费每套（略），售后不退。售价：￥（略）.0（略），本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间（略）年（略）月（略）日（略）点（略）（北京时间）开标时间（略）年（略）月（略）日（略）点（略）（北京时间）地址：（略）1；为避免人员聚集，投标人代表须携带本人（略）及当日项目（略）（介绍信）进入开标区，投标人代表原则上不超过2人。投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投标截止时间前3个月（（略）年9月-（略）月）的社保缴纳证明材料。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜投标人应提供电子版投标文件1份（一般应为PDF格式、U盘形式（单独封装）、随纸质正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准。电子版文件（略）存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。本次招标请按“标段”（略），编制、提交电子投标文件，提交投标保证金，并按“标段”开标、评标。投标人应当从招标代理机构合法获得招标项目的招标文件。勘察（略）及答疑：无。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：东南大学　　　　　地址：（略）2号　　　　　　　　联系方式：微纳（略）：朱老师，（略）-（略）；实验室与设备管理处：刘老师，联系方式（略）-（略）　　　　　　2.采购代理机构信息名称（略）　　　　　　　　　　　　地　址：南京市鼓楼区清江南路（略）号（略）D栋9楼（略）室　　　　　　　　　　　　联系方式：李晨娟；（略）-（略）　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人（略）：朱老师电　话：　　（略）-（略）　附件（略）：招标公告--东南大学微纳（略）反应离子束刻蚀ICP-RIE采购项目.docxFF（略）E;DD（略）E;EE（略）E;