招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-10-16在采购与招标网发布 高真空蒸发镀膜系统（JLU-KC25083）采购公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 打印公（略）（JLU-KC（略））采购公告发布时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）阅读量：（略）次项目名（略）项目编号JLU-KC（略）公示开始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公示截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采购单位吉林大学付款方式货到验收合格（略）相关手续后（略）%付款。联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看签约时间要求成交后（略）日内到货时间要求国内合同签订后（略）个日历日内预算 ￥（略）,（略）.（略）发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发（略）采购法》第二十二条规定的供应商基本条件收货地址吉林大学采购清单1采购物品采购数量计量单位所属（略）2台其他试验仪器及装置品牌苏州光拓规格型号GT（略）-S8技术参数1.1底盘结构：1.1.1*采用方管焊接式框架，白色喷漆处理，防止生锈；1.1.2底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。1.1.3带有机械旋转手臂，有多（略）度调节操作界面。1.1.4电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。1.2基片架结构1.2.1可以固定1个≥（略）mmx（略）mm的基片托盘。1.2.2容纳≥（略）片（略）mm*（略）mm基片，采用嵌入式结构。1.2.3电机驱动实现连续旋转，最大转速可达（略）转（略）钟，通过磁流体与基片托盘连接。1.2.4配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围基片托盘1.2.5掩膜与基片对位精度可以达到+-（略）μm。1.3蒸发源：1.3.1≥6组蒸发源，用于材料蒸发，金属与有机源必须通用。源与基片的垂直距离≥（略）mm。1.3.2每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。1.3.2*每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动。1.3.4源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。1.3.（略）台可编程直流稳压蒸发电源，功率≥2.4KW，精度0.1A，有电流模式和电压模式，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。1.4自动化控制（略）1.4.1采用工控机模式，方便后期维护更新。1.4.2（略）为自动和手动模式，可以随时切换。1.4.3*可一键自动蒸镀工艺器件。1.5（略）1.5.（略）个标准卡扣晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。1.5.2晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性。1.5.3膜厚速率显示精度±0.（略）AS。1.5.4*膜厚均匀性，重复性优于3%。1.6真空室1.6.1真空室由不锈钢制成，内部电解抛光，内部尺寸≥（略）mm*（略）mm*（略）mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。1.6.2真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。1.6.3腔体极限真空≤3*（略）-5pa，从常压到5*（略）-4pa≤（略）min（充氮气保护）1.6.4（略），可以在不关闭（略）子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。1.6.5腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板1.7（略）1.7.1前级泵的抽速≥（略）m3h。1.7.2主泵采用抽速≥（略）Ls的（略）子泵。1.7.3主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥（略）mm。1.7.4自动抽气控制，带安全互锁功能。1.7.5配有（略）等相应的硬件。1.7.6真空室配真空计，测量范围为大气至（略）-7mba（略）点:当地;电话支持:7x（略）小时;服务年限:五年;服务时限:报修后（略）小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;吉林大学（略）-（略）-（略）:（略）:（略）查看内容