招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-10-16在采购与招标网发布 沈阳工业大学智能检测与智能运维管理实验中心设备采购项目（14）招标公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。  沈阳工业大学智能检测与（略）设备采购项目（略）发布时间:（略）-（略）-（略）  项目概况沈阳工业大学智能检测与（略）设备采购项目（（略））招标项目的潜在供应商应在（略）获取招标文件,并于（略）年（略）月（略）日（略）时（略）（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：JH（略）-（略）-（略）项目名称：沈阳工业大学智能检测与（略）设备采购项目（（略））包组编号：（略）预算金额（（略））：（略）最高限价（（略））：（略）采购需求：查看一、主体指标★1.1真空腔室：尺寸：Ф≥（略）mm×≥H（略）mm，前开门结构，顶板焊水线，内表面应用电抛等清洁处理，焊缝应采用氩弧焊接且内表面抛光。1.2（略）组成：复合（略）子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计。▲1.3其中（略）子泵，抽速≥（略）Ls；直联高速旋片式真空泵为抽速≥9Ls。1.4真空极限：设备空载抽真空（略）小时后，可达6.0×（略）？？Pa。★1.5升压率：≤0.8Pah（（略）小时平均值）；停泵（略）小时后，设备真空度≤（略）Pa。▲1.6抽速：从大气抽至5.0×（略）？3Pa，设备空载时≤（略）min；设备空载且在干燥氮气环境下≤（略）min。二、基片台相关指标★2.1尺寸与样品规格：基片台尺寸Φ（略）mm，最大样品尺寸≤Φ（略）mm，配有基片台挡板。★2.2旋转功能：旋转转速0～（略）转（略）钟（或转速包含该范围），可调可控，主轴采用磁流体密封。绝缘与偏压：基片台与腔室绝缘设计，可接脉冲偏压电源。加热功能：基片台环境温度可从室温升至（略）±1℃，采用PID智能温控闭环控温，可控可调，且采用铠装加热器及绝缘、屏蔽等设计。三、溅射靶及电源相关指标★3.1溅射靶配置：3套3英寸磁控溅射靶，向上溅射，可溅射磁性材料，各靶配有气动挡板结构。▲3.2工作方式：各靶可独立、顺次、共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜。电源参数：★3.2直流脉冲溅射电源：1kW，数字化控制及显示，共2台。★3.4科射频电源：（略）W，数字化控制及显示，共1台。3.5脉冲偏压电源：-1kV，数字化控制及显示，共1台。★3.6高速脉冲I-V测试电压范围≥（略）Vp-p。★3.7高速脉冲I-V测试电流量程至少包含（略）mA、（略）mA、（略）mA、1mA、（略）μA、（略）μA、1（略）相关指标▲4.1质量流量控制器及量程：Ar为≥（略）sccm；N？为≥（略）sccm；O？为≥（略）sccm。（略）组件：含Φ6mm电磁截止阀、三进一出混气管，采用EP（略）（内外抛光金属管）。五、其他关键指标5.1膜厚不均匀性：≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ（略）mm范围内）。5.2（略）：由薄膜（略）组成。▲5.3控制方式：PLC+触摸屏控制，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源手动控制。报警及保护：具备缺水报警及相应保护措施，有完善的（略）。设备尺寸：长×宽×高为≥（略）mm×≥（略）mm×≥（略）mm。★5.4（略）中所有终端硬件配置信息，包括终端名称、设备内存容量、最近运行时间、合计运行时间、硬件变更和记录信息等，便于实验室设备管理（提供此功能界面截图证明）。★5.5（略）具备全生命周期管理功能、运行数据（略）析、设备远程界面、设备状态（略）析、接口管理等功能（提供此功能界面截图证明）。合同履行期限：合同签订后的（略）日内将所投产品运抵交货地点（略）采购政策内容：中小企业；监狱企业；残疾人福利性单位；节能产品、环境标志产品；列入《创新产品和服（略）采购相关政策。本项目（是否）接受联合体投标：否二、供应商的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目专门面向中小微企业采购，供应商所投产品厂商须为中型或小型或微型企业，残疾人福利性单位、监狱企业视同小型和微型企业；3.本项（略）采购供应商（略）须知参（略）政（略）采购供应商库的，请（略）“首（略）采购供应商（略）”的相关规定，及时（略）登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系（略）采购活动。具体（略）采购供应商（略）程序的通知》（辽财采函〔（略）〕（略）号）。四、获取招标文件时间：（略）年（略）月（略）日（略）时（略）至（略）年（略）月（略）日（略）时（略）（北京时间，法定节假日除外）地址：（略）地点（略）年（略）月（略）日（略）时（略）（北京时间）地（略）提交（略）。备份文件递（略）公（略）会议室（（略）号）六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、质疑与投诉供应商认为自己的权益受到损害的，可（略）或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。1、接收质疑函方式：（略）或书面纸质质疑函2、质（略）采购质疑和投诉办法》（略）采购质疑函范本》格式，（略）。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后（略）个工作日内向本级财政部门提起投诉。八、其他补充事宜1.本项目采用全流程（略），参与本项目的供应商须自行（略）好（略）锁，供（略）投标文件外，应在递交投标文件截止时间前提交按采购文件规定的介质形式（U盘）存储的可加密备份文件，并承诺备（略）中（略）的投标文件内（略）突发故障使用。供应商仅提交备份文件的（略）采购电子评审业务流程等有关事项的通知》辽财采函（略）号。2.供应商自行准备电子设备确保能够自行报价及解密。九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名  称：沈阳工业大学地  址：沈阳经（略）号联系方式：（略）-（略）.采购（略）地  址：（略）号联系方式：（略）-（略）地址：（略）目联系人：（略）勃、胡铁军、姜北、苏美玲、袁鹤铭、赵蔓彤电  话：（略）-（略）附件： （略）查看内容