招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-10-17在采购与招标网发布 高真空镀膜机（JJ2025002407）采购公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 打印公告高真空镀膜机（JJ（略））采购公告发布时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）阅读量：2次项目名称高真空镀膜机项目编号JJ（略）公示开始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公示截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采购单位南开大学付款方式合同签定生效后，预付合同总额的（略）%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内（略）合同总额的（略）%余款。联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看签约时间要求到货时间要求合同签定生效后7个工作日内预算未（略）采购法》第二十二条规定的供应商基本条件收货地址南开大学（略）电子信（略）采购清单1采购物品采购数量计量单位所属（略）类高真空镀膜机1台品牌光拓规格型号GT（略）-S2+4技术参数1真空腔体尺寸要求：不小于（略）*（略）*（略）mm。2腔体真空性能要求：极限真空度≤8*（略）-5pa，抽真空速度要求从1*（略）Pa至5*（略）-4pa的时间≤1小时。腔体保压能力：要求机械泵停止运转（略）小时后真空度＜5pa。3蒸发源配置要求：配备2组舟源，可对金属，有机，无机物等材料进行蒸镀，要求每组（略）。源与基片的垂直距离可调。配备至少2组低温有机束源，坩埚容量≥5cc，可对有机材料进行蒸镀。4电源配置要求：要求配置至少1台大功率蒸发电源，电源功率≥1KW，要求电流控制精度达到0.1A或更小。要求设备配置至少2台小功率蒸发电源，电源功率≥0.2KW，精度达到0.1A或更小，用于束源蒸发有机材料。5控制器要求：要求设备采用工控机控制，相关的操作均在电脑显示界面完成，且配备中文英文双语界面。要求蒸镀机带有自动蒸镀功能。6膜厚仪要求：要求膜厚控制器具（略）控制功能，具备至（略）监控膜层沉积的能力。要求蒸镀机配置的晶振传感器≥2个，膜厚速率显示精度要求至少0.（略）AS。7基片盘要求：规定旋转样品台的尺寸为（略）mm*（略）mm。要求样品台带有水冷功能。要求掩模版到基片距离≤0.1mm，基板旋转速度调节范围为0-（略）rmin。8蒸镀速率稳定性要求：≤±（略）%（0.1-0.5As），≤±5%（0.5-（略）As），≤±4%（＞（略）As）；9单片内膜厚匀性要求：要求膜厚最大值和最小值差距＜5%。测试方法：（略）范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大值-膜厚最小值）（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于（略）mm×（略）mm，测试设备可采用椭偏仪或台（略）售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。南开大学（略）-（略）-（略）:（略）:（略）查看内容