i-line 光刻机 项目已具备招标条件。招标项目资金已落实。（略）（招标代理机构）受 （略）公司西安飞行自动控制研究所 （招标人）的委托， 对 该 项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称： i-line 光刻机

1.2 招标编号： （略）***********A（略）

1.3 项目概况：

i-line 光刻机用于量子传感、硅光等芯片微结构制造过程中的对准曝光工艺。利用光化学反应原理把事先制备在掩模版上的图形转印到晶圆表面涂覆的光刻胶上，再使用选择性的刻蚀再转印到衬底（晶圆）上，并最终形成传感芯片所需的三维结构。 i-line 光刻机由 i-line 光刻机、光刻机隔震台组件等组成。更多指标详见第八章技术规格。

主要技术指标：

适用于 （略） 英寸和 （略） 英寸晶圆；

设备传片方式：机械手全自动传片；

最小（略）辨率 ≤ 1um ；

支持全自动对准，且具备正面 / 背面和红外对准功能；

对准精度 : 正对准≤ 0.5um ；背对准≤ 1um ；红外对准精度≤ 1.5um ；

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订生效后（略）个月内交货。

1.6 （略）西安飞行自动控制研究所指定地点。。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直（略）开具的（（略）的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构（略）并进行登记才具有投标资格。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日（略）时(北京时间)，（略）（http:（略）.com）（略）汇款底单和（略）,（略）不予受理。如有疑问，请致电（略）服务热线（略）-（略）-（略）。

3.2 招标文件售价人民币（略）或（略）美（略），售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:https:（略）.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=（略）招标文件费用，（略）后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接（略）消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动（略）至申请时所填（略）。潜在投标人将付款凭证（形式不限（略），经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的（略）权限。

3.3 投标人必须在（略），（略）与电子签章，否则无法投标。（详见（略）相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 （略） （略） 年 （略） 月 （略） 日 9时（略） （北京时间） ，投标人应在截止时间前通过 （略）（ http:（略）.com） （略） 加密的电子 版 投标文件，并在此时间前递交单独密封的纸质版投标文件 （略） （略）号西安亚（略）会议室 。

4.2 逾期送达的投标文件，（略）将予以拒收。

4.3 投标人未按要求（略）加密电（略）无法获取、解密投标人（略）的电子版投标文件，招标人不予受理。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标 地点 同投标文件递交地点。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在（略）、中国（略）和（略）上发布。

（略） . 联系方式

（略）公司西安飞行自动控制研究所

地址：（略）span>

联系人：（略）span>

电话： （略）**********

招标（略）

地址：（略）pan>（略）

邮编： （略）

联系人：（略）span>

电话： （略）**********

项目负责人：（略）pan>

电话： （略）**********、（略）**********

传真： （略）**********

电子（略）：

（略）年（略）月（略）日