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2021年01月25日

当前位置:首页 > 招标信息 > 高精密单面光刻机招标公告

高精密单面光刻机招标公告  咨询本项目

采购与招标网   网络通讯计算机   湖南   2025-11-06
招标编号:立即查看开标时间:立即查看
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招标代理公司(立即查看) 受业主单位(立即查看) 委托,于2025-11-06在采购与招标网发布 高精密单面光刻机招标公告。现邀请全国供应商参与投标,有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。

项目名称高精密单面光刻机项目编号J-2******
项目编号J-2******
公告发布日期(略)/(略)/(略) (略):(略)公告截止日期(略)/(略)/(略) (略):(略)
公告截止日期(略)/(略)/(略) (略):(略)
采购单位湖南大学
联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看
联系手机中标后在我参与的项目中查看
采购预算未公开币种RMB
币种RMB
是否本地化服务是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限合同签订后(略)天内到货
送货/施工/服务地址两山一湖中四栋
售后服务按行业标准执行
付款条款国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(0)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额(略)%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在(略)个工作日内(略)合同总金额的((略))%;3.在验收合格之日起的(1)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单

(略)

采购内容数量单位
高精密单面光刻机1(台)
参考品牌及型号成都鑫南光/G-(略)D4
技术参数要求一.技术参数: 1、曝光类型:单面,接触式; 2、曝光面积:(略)×(略)mm; 3、曝光照度均匀性:≥(略)%; 4、曝光强度:0-(略)mw/cm2; 5、紫外光束(略):≤2°; 6(略)波长:(略)nm(也可以配专用曝光头实现g线、h线、I线的组合); 7、光源质保期:(略)年; 8、曝光(略)辨率:0.8μm; 9、曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光; (略)、显微镜扫描范围:(略): (略)mm Y: (略)mm; (略)、对准范围:(略)、Y:±5mm,Q:±5°; (略)、套刻精度:1μm; (略)、(略)离量;0~(略)μm可调; (略)、接触-(略)离漂移:≤1μm; (略)、曝光方式:密着曝光,可实现硬接触、软接触和微力接触曝光; (略)、找平方式:三点式自动找平; (略),显微镜(略)~(略)连续变倍(物镜1.6(略)-(略)连续变倍),双物镜距离可调范围(略)mm~(略)mm(略),(略)″液晶监视器; (略)、掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″; (略)、基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″; (略)、基片厚度:0.1~6mm; (略)、曝光定时:0~(略).9秒可调; (略)、对准方式:手动; (略)、曝光头转位:气动; (略)、设备所需能源: 电源:单相AC(略)V (略)HZ ,功耗≤1.5KW; 洁净空气压力:≥0.4MPa; 真空度:-0.(略)MPa~-0.(略)MPa; (略). 尺寸和重量: 尺寸:机体(略) mm(长)×(略) mm(宽)×(略)mm(高),重量:≤(略)Kg; (略)、G-(略)D4型光刻机的组成: 由主机(含机体和工作台),对准用单筒显微镜,LED鹰眼曝光头组成; (略)、附件如下: 主机附件:(出厂时安装到机器上) 显微镜组成 单筒显微镜二个 两个CCD 视频连接线 计算机和(略)"液晶监视器 二.配置: 1.曝光头: LED紫外曝光头一台。 2(略): 1)CCD数码摄像机二只; 2)可变倍显微镜二只; 3(略)一套(含计算机一台、采集卡一件、(略)″液晶监视器一台、图像处理对位(略)一套)。 4)焦距、物距调节台一套; 5)LED同轴照明光源二台。 3.对准工作台; 1)3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件; 2)φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件; 3)三点自动找平机构一套; 4)(略)一套; 4.电气控制台: 1)PLC可编程控制器一台; 2(略)一套; 3)气动、真空仪表一套。 5.备附件: 1)真空软管(φ8mm)(略)m; 2)电磁阀七只; 3)紫外光强计一只; 4)无油静音真空泵一台; 5)无油静音空压机一台。 6.技术资料: 1)使用说明书;

访问http:(略).com我要报价

该项目其它公告



(略)查看原文
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