招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-11-01在采购与招标网发布 CVD设备招标公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 一、项目名称：CVD设备二、项目编号：S（略）*****三、采购（略）能参数要求CVD设备1台（一）主要技术参数及配置要求1.设备技术要求：设备所有（略）部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准。2.工艺要求：工艺气体主要包括HCl、H2及Ar等，应具备防腐蚀及防爆功能。3.内置高温反应器3.1有（略）尺寸：≥（略）mm×（略）mm（直径×高）。3.2工作温度范围：（略）℃～（略）℃。3.3在（略）℃工作温度范围能连续工作。3.4最高温度：（略）℃。3.5温度均匀性：±5℃。3.6炉温均匀性测试，校温点为（略）℃、（略）℃、（略）℃。3.7泄漏率：≤0.5mbarh。3.8泄漏率检测包括高温反应器、三氯化铝发生器、混合室及汇流排。3.9极限真空度：≤1mbar（0.（略）h内）。3.（略）最大装载量：≥（略）kg。3.（略）沉积速率：沉积速率：≥（略）μmh，（略）涂层厚度偏差≤（略）μm、外表面涂层厚度偏差≤（略）μm。4.高温反应器4.1用于生成高温高活性次氯化铝反应物质的密闭容器，在工件表面生成沉积涂层。包括抗高温变形的罐体、带冷却水套的下法兰、热电偶、SAT及（略）、密封槽、安全锁紧装置等。4.2配置2套，采用lnconel（略）材质、厚度不小于8mm钢板卷制焊接罐体。4.3基于PLC及温控模块可实现高温反应器内部5（略）控温，每个独（略）应有控温和超温报警热电偶，并设有TUS和SAT热电偶接口（略）应高度集成。4.4设备可增加单独真空泵用于工（略）涂层沉积。4.5内置高温反应器在工艺温度时压力在（略）mbar～（略）mbar范围内可调，可高效率低成本同时在（略）沉积涂层。5.外置低温反应器：用于制备低活性三氯化铝气体和其他不少于3种活性（略）素。由工艺气体管线（包括HCl、H2和Ar气体）、（略）控温的加热模块、气体发生器等组成。6.石墨坩埚及组合件：石墨坩埚、隔圈及支撑件等承力部件采用高密度石墨制成；其余石墨组件（隔热）采用轻质、低密度石墨制成。7.钟罩式加热炉7.1用于对高温反应器的加热。7.2加热速率：从室温到（略）℃≤3h。7.3（略）：采用知名品牌工艺控制（略），5（略）独立控温，（略）设置独立控温模块、测温及报警热电偶的快速连接装置。7.4电阻丝：模块化的知名品牌电阻丝。耐火材料：模块化氧化铝砖，密度≤（略）kgm3。总重量：≤3.8吨。炉体表面温度：工作状态下，炉体外表面温度≤（略）℃。7.5变压器：输出电压（略）V±5V。7.6具有防变形，抗热疲劳和热老化性能，结构便于更换。8.冷却塔：由移（略）构成，具备抗高温变形和防烫伤功能的双层壁设计，可实现高温反应器外壁的强制风冷。9（略）：（略），对低温反应器、高温反应器、冷阱、各类气体汇流排、混合室及相关管线抽真空。与工艺控制（略）相匹配，实现逻辑互锁。（略）.气体流（略）.1基于模拟量的MFC，能精确控制H2、HCl及Ar等气体流量，气体流量、大小可数显，精确可控。（略）.2设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。（略）：由冷水机、汇流排、传感（略）组成。可监测循环水水温并报警。（略）：具备对易燃易爆、有毒及强腐蚀性尾气的无害化处理装置及功能，符合国家环保排放要求，产生的废水收集后集中处理。（略）.1用于CVD设备工艺过程中主要可移动部件的定点吊装及移动，具备自动循迹及定位功能。（略）.2（略）体承力框架：采用高强度合金热轧或锻造，具备抗弯曲、防变形功能。起升重量：≥1T。起升高度：≥2.8m（与设备吊装高度相匹配）。起升速度：≥3.3mmin。吊装和移动：水平运行距离≥7.4m（具体以CVD设备的实际尺寸为依据）。数量：1套，与设备结构相匹配，具备多工位拓展条件，并满足采购人使用需求。（略）.3定位循迹：采用PLC及伺服电机，高精度齿（略），具备自动定位（四工位）及循迹功能，完成对CVD设备部件的自动定位、吊装和移动。重复定位精度：±0.5mm。（略）.4（略）：预埋各类限位开关、传感器，具备变速升降、移动、紧急停止及物理限位功能。（略）.气（略）.1由气体管线、各类阀、防泄漏探头及气瓶柜等组成，对各类气体的压力、流量及泄漏具有全自动监控、显示、超压保护及安全逻辑互锁功能。具备安全互锁功（略）逻辑互锁。（略）.2配置氯化氢（HCl）气瓶柜，可实现一键式保压、吹扫。（略）.3配置氢气防爆间，按照《氢气使用安全技术规程》进行执行（GB（略）-（略））。（略）.4气体管线设计制造具备GC2认证。（略）.5设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。（略）.1具备工艺参数编辑、存储及打印等功能。提供气相沉积渗铝工艺模块，并具备其余工艺模块的拓展功能，同时提供与渗铝技术相关的成套配置，并协助采（略）化应用。（略）.2实现对工艺程序的编辑、参数设置及显示、运行状态动态显示及操作、故障报警显示及记录、数据记录及历史曲线、维护及说明页面等。（略）.3对主要设备故障具有自诊断和（略）互联互通，信息共享，实现工艺和安全的逻辑互锁。如：与气（略）之间逻辑互锁，实现安全操作。（略）.4（略）及设备应具备高可靠性和连续工作的能力，自动化程度较高，操作界面简洁，可实现异常信息的自动报警与逻辑互锁。（略）.1采用PLC及配套的电器（略）件，可实现对钟罩式加热（略）域的电流进行调节控制。（略）.2配置1台（略）.6寸触摸屏，配置（略）寸彩色显示器，以及1（略），1套键盘和鼠标、1个打印机、1个电脑桌、1台UPS电源等组成。工控机CPU核心数量：≥8，内存容量：≥（略）G，固态硬盘容量：≥1TB。工控机相关（略）均为长期永久授权，不得加密。（略）.3配置不低于Windows（略），以及国产工艺控制（略），可实现对设备各个部件、流量、开关、阀及传感器数字信号的采集与编辑，设备运行状态的监控、调节，以及安全逻辑互锁。（略）.4采用模块化设计，操作界面简洁实用，能够精准显示各个阀门、探头及传感器的运行状态，以及逻辑互锁的条件，并具备各类信息的自诊断及报警功能。（略）.其他要求（略）.1设备涉及易燃易爆及高腐蚀性气体的阀、仪器仪表、各类传感器及流量计等（略）器件应选用知名品牌产品。（略）.2工件支撑座采用高温合金或更高耐热材质。（略）.3所有接触工艺气体及尾气的（略）器件材料必须防腐蚀，采用电子级电抛光管材（（略）L-EP）材质。采用自动焊接机器人焊接。（略）.4设备主体占地尺寸：≥7m×2.5m（长度×宽度）。（略）.5针对安全隐患部位，设置安全防护措施。（二）质保期：自验收合格之日起（略）年。（三）交货期：合同生效后，（略）个月内交货。（四）报价要求：本次招标采用一次性报价。报价包含设备、配套辅机、配套（略）、易损件、配套环保设备以及设备地基施工、运输、安装、调试、培训、税费、保险等与本项目相关的全部费用，确保设备安装后可以满足安全、环保及生产运行要求。（五）履约保证金：中标单位须在签订合同（略）天内缴纳合同金额的5%作为履约保证金，验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，无息退还。（六）安装调试要求（略）安装：（略）完成设备就位、水电（略）调试：进行全面的（略）、安全联锁等的功能测试和参数校准。（七）付款方式1.合同签订后，（略）合同总额（略）%的预付款；2.设备制造完成在（略）内验收合格后，（略）合同总额（略）%的预验收款，供方发货至需方指定地点；3.设备在需方指定地点安装调试并通过验收后，（略）合同总额（略）%的终验收款；4.验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，（略）合同总额（略）%的尾款。5.每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。（八）验收要求：按照招标公告要求、投标文件、采购合同约定的技术条款等指标进行验收。（九）售后服务要求（略）服务：产生故障，需在2小时内响应，（略）小（略）师到达（略）进行维修或更换故障部件。备件供应：质保期内应免费更换因质量问题损坏的（略）部件。五、投标单位资质要求（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）本项目不接受联合体投标，不得转包或（略）包。六、评（略）标准本次招标采用综合评（略）法，总（略）为（略），具体内容如下：（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱（略）采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔（略）〕（略）号）、（略）采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔（略）〕（略）号（略）采购政策的通知》（（略）采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔（略）〕（略）号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予（略）%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业（略）级以上（略）、（略）（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。注：①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔（略）〕（略）号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。②若供应商提供的声明函或（略）监管（略）采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔（略）〕（略）号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔（略）〕（略）号），本采购标的对应的中小企业划（略）标准所属行业（略）工业。（二）价格（略）（（略））1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满（略）；2．其他投标供应商的投标报价得（略）按照下列公式计算：投标报价得（略）＝（评标基准价／投标报价）×（略）。（三）技术参数、配置及（略）体综合性能（略）（（略））1．技术参数及配置（（略））以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2（略）。2．综合性能情况（（略））（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（3（略））。其中优于项，每处加1（略）。（2）所提供（略）场反馈情况（7（略））。根据所投产品的品牌影响力、（略）场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。（（略）（（略））1．综合实力（2（略））根据投标人提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。2．类似项目业绩（（略））。投标人提供（略）年以来同类型设备销售业绩，每提供1项销售业绩得2（略），满（略）。注：提供合同页及盖章页。（其中合同复印件应至少（略）名称及盖章、合同签订或生效时间等，未按上述要求提供的业绩证明均不予以认可）。3．售后服务与培训情况等（（略）