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2021年01月25日

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东南大学 - 竞价公告 (CB102862025001185)  咨询本项目

采购与招标网   科技文教旅游   江苏   2025-09-16
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招标代理公司(立即查看) 受业主单位(立即查看) 委托,于2025-09-16在采购与招标网发布 东南大学 - 竞价公告 (CB102862025001185)。现邀请全国供应商参与投标,有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 东南大学-竞价公告CB(略)发布时间:(略)-(略)-(略):(略):(略)截止时间:(略)-(略)-(略):(略):(略)基本信息:申购主题:晶圆电镀挂具报价要求:国产含税发票类型:增值税专用发票付款方式:货到验收合格后付款送货时间:合同签订后(略)天内送达安装要求:免费上门安装(含材料费)预算:******人民币收货地址:(略)量单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件(略)寸晶圆电镀挂具1套苏科斯(略)寸单面晶圆电镀挂具(镀铜镍锡银金)1、有效电镀面积:(略)mm2、采用螺丝固定搭配扭力扳手3、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶4、性能维度:(1)机械性能:外形尺寸:挂具的长,宽,高具体尺寸公差±1mm(卡尺,三次(略)((略)的偏差<0.5mm(三次(略)(CMM));支撑和导电的触点总数≥(略);材料在高温下抵抗变形的能力(略)℃(热机械(略)析(TMA));挂具主体可重复使用的次数(略)次循环(视工艺苛刻程度而定)(循环测试与性能检测)(2)电气性能:单个触点与晶圆间的导通电阻<(略)mΩ;所有触点间电阻的一致性差异<±3%(四线开尔文测试)(3)化学性能:在药液中浸泡后的尺寸重量稳定性:变化率<±1%(浸泡实验后测量);金属接触点在特定药液中的腐蚀失重<0.1mm年(浸泡失重法,SEMEDS(略)析);临界点蚀温度(CPT):发生点蚀腐蚀的最低温度:工艺温度(略)℃,标准腐蚀测试(ASTMG(略)等);密封泄露率:对于有中空密封结构的挂具,其气密性<1(略)-4mbar.Ls(氦检)氦质谱捡漏仪。(4)功能性能:机械缺陷率<0.(略)%(晶圆缺陷扫描仪(Inspector))平均修复时间MTTR:挂具维护或更换所需平均时间1小时。需要提供实验测试数据证明。1.质保(略)年;2.紧急故障:响应时间:1-2小时内(电话视频远程排查);(略)支持:若远程无法解决,(略)师到客户(略)3.一般故障:响应时间:4小时内远程指导;解决方案:(略)小时内提供维修方案或替换部件。4.维修服务:质保期内:免费维修(含配件更换,如导电触点、定位夹具),往返物流费由供应商承担;质保期外:提供付费维修,明确维修报价(含配件费、工时费)。5.培训服务:交付后免费提供1-2次操作培训(含挂具装卸、日常维护、故障排查)(略)寸晶圆电镀挂具1套苏科斯8寸单面晶圆电镀挂具(镀铜镍锡银金)1、有效电镀面积:(略)mm2、采用螺丝固定搭配扭力扳手3、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶4、性能维度:(1)机械性能:外形尺寸:挂具的长,宽,高具体尺寸公差±1mm(卡尺,三次(略)((略)的偏差<0.5mm(三次(略)(CMM));支撑和导电的触点总数≥(略);材料在高温下抵抗变形的能力(略)℃(热机械(略)析(TMA));挂具主体可重复使用的次数(略)次循环(视工艺苛刻程度而定)(循环测试与性能检测)(2)电气性能:单个触点与晶圆间的导通电阻<(略)mΩ;所有触点间电阻的一致性差异<±3%(四线开尔文测试)(3)化学性能:在药液中浸泡后的尺寸重量稳定性:变化率<±1%(浸泡实验后测量);金属接触点在特定药液中的腐蚀失重<0.1mm年(浸泡失重法,SEMEDS(略)析);临界点蚀温度(CPT):发生点蚀腐蚀的最低温度:工艺温度(略)℃,标准腐蚀测试(ASTMG(略)等);密封泄露率:对于有中空密封结构的挂具,其气密性<1(略)-4mbar.Ls(氦检)氦质谱捡漏仪。(4)功能性能:机械缺陷率<0.(略)%(晶圆缺陷扫描仪(Inspector))平均修复时间MTTR:挂具维护或更换所需平均时间1小时。需要提供实验数据证明。1.质保(略)年;2.紧急故障:响应时间:1-2小时内(电话视频远程排查);(略)支持:若远程无法解决,(略)师到客户(略)3.一般故障:响应时间:4小时内远程指导;解决方案:(略)小时内提供维修方案或替换部件。4.维修服务:质保期内:免费维修(含配件更换,如导电触点、定位夹具),往返物流费由供应商承担;质保期外:提供付费维修,明确维修报价(含配件费、工时费)。5.培训服务:交付后免费提供1-2次操作培训(含挂具装卸、日常维护、故障排查)(略)查看原文
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