招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2025-10-13在采购与招标网发布 磁控溅射镀膜设备竞价公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。     项目名称磁控溅射镀膜设备项目编号（略）-（略）项目编号（略）-（略）公告发布日期（略）:（略）公告截止日期（略）:（略）公告截止日期（略）:（略）采购单位太原理工大学付款条款签订合同后，供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点，并完成安装、调试，经采购人技术验收合格，采购人在收到供应商开具的增值税发票后（略）日内向供应商（略）合同金额（略）%，否则，按合同约定扣除相应违约金后，（略）剩余合同金额。付款条款签订合同后，供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点，并完成安装、调试，经采购人技术验收合格，采购人在收到供应商开具的增值税发票后（略）日内向供应商（略）合同金额（略）%，否则，按合同约定扣除相应违约金后，（略）剩余合同金额。联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看是否本地化服务否是否需要踏勘否是否需要踏勘否踏勘联系人踏勘联系电话踏勘联系电话踏勘地点踏勘联系时间踏勘联系时间采购预算￥（略）,（略）.（略）送货施工服务期限合同生效之日起（略）日内送货施工服务地址太原理工大学（略）物（略）室   采购清单1采购内容是否进口计量单位采购数量售后服务磁控溅射镀膜设备否台（略）所供货物自技术验收合格之日起，享受（略）年免费配套服务；2免费配套服务期内，设备出现非人为因素操作不当产生的问题，由生产厂商免费维护、免费维修、免费更换;3免费配套服务期内，在接到用户要求进行技术支持的正式通知（含电话或（略）通知）后，生产厂商技术人员于（略）小时内，赶到技术服务（略）；此外，对使用设备人员进行免费培训。品牌及型号苏州光拓（GT（略）A-Y1）  苏州威格（LGPVD（略）-1）  技术参数要求1.底盘结构采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈；2.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。3.带有机械旋转手臂，有多（略）度调节操作界面。4.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。5.基片架结构上基片盘可以容纳4片（略）.1mm*（略）.1mm小基片，并可（略）切换两次掩膜板，下基片盘采用嵌入式结构，可搭载1片6英寸基片。6.基片可上下升降，行程（略）mm，电机驱动实现连续旋转，最大转速可达（略）转（略）钟，通过磁流体与基片托盘连接。7.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡4片（略）.1mm*（略）.1mm与1片6英寸基片。8.强磁靶1个，3英寸，带靶挡板，靶（略）度可调节，可溅射金属及金属氧化物以及其它材料。9.靶通水冷，保护磁铁在高温溅射过程中消磁，工作压强溅射：0.1～（略）Pa，溅射不均匀性≤±5％。（略）.配备3（略）MFC控制器，氩气、氧气、氮气，流量上限（略）别为（略）sccm,（略）sccm,（略）sccm。（略）.1台射频电源，功率不小于（略）W，（略）.（略）MHz.（略）.采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成。（略）为自动和手动模式，可以随时切换。（略）.带有一键自动溅射功能。（略）真空室由不锈钢制成，内部尺寸约为（略）mm*（略）mm*（略）mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及靶、真空泵、样品盘等装置。（略）.真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保（略）个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配两个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。腔体极限真空优于5*（略）^-5pa，从常压到5*（略）^-4pa不超过（略）min（充氮气保护），保压（略）小时，压强小于（略）Pa。（略），可以在不关闭（略）子泵的条件下，打开腔室,进行样品及靶材的更换。（略）.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，后期可安装金属防污挡板。（略）.前级泵的抽速不低于（略）m3h。（略）.主泵采用抽速≥（略）ls的（略）子泵。（略）主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥（略）mm。（略）.自动抽气控制，带安全互锁功能。（略）.真空室配真空计，测量范围为大气至（略）^-5pa。（略）报价地址：（略）