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2021年01月25日

当前位置：首页 > 招标信息 > 材料系YURY ILLARIONOV课题组电子束蒸发镀膜系统设备采购申请采购公告

材料系YURY ILLARIONOV课题组电子束蒸发镀膜系统设备采购申请采购公告  咨询本项目

采购与招标网   机械电子电器,冶金矿产原材料   广东   2024-02-22
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招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2024-02-22在采购与招标网发布 材料系YURY ILLARIONOV课题组电子束蒸发镀膜系统设备采购申请采购公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 Print南方科技大学SUSTech-JC-（略）-（略）竞采采购公告项目名称材料系YURYILLARIONOV课题组电子束蒸发镀膜（略）设备采购申请项目编号SUSTech-JC-（略）-（略）项目类型货物类成交方式最低价成交采购方式公开竞采公告开始时间（略）-（略）-（略）公告结束时间（略）-（略）-（略）预算（略）.（略）项目预算是否含税国产含税备注采购明细序号名称数量单位1电子束蒸发镀膜（略）（核心货物）1套是否接受进口拒绝进口品牌无推荐品牌型号无推荐型号技术规格及参数1．真空室内腔尺寸：φ（略）mm×H（略）mm，U型（略）不锈钢腔体，内外抛光处理。蒸发距离大于（略）mm；2．真空（略）要求：采用复合（略）子泵（抽速不小于（略）LS）+旋片泵抽速不小于9LS,高真空气动主阀，性能不低于HVA；3．真空极限：优于6×（略）-5Pa；4．抽速：从大气抽至6.0×（略）-4Pa≤（略）min；5．配置1套功率（略）KW电子束蒸发及功率3KW2套热蒸发（略），配高压清洗装置及偏压装置。（蒸发源不能交叉污染，提供有效解决方案）；6．膜厚检测（略）：精度±0.（略）AS；7．基片台：样品盘尺寸：≤（略）*（略）mm，样品盘加热功能，样品温度高（略）度。8．控制方式：手自动一体控制方式，全部自动检测镀膜速率升高与降低，视化控制；9．（略）配备等离子体发生器，配合流量计使用；（略）．均匀性（略）样品均匀性误差小≤5%；（略）．重复性：相同工艺下误差≤5%；（略）．设备配有单独的循环水冷供给（略）；（略）．真空测量：“两低一高”数显复合真空计，两只电阻规（略）别测量前级及真空室低真空，一只电离规测量真空室高真空；（略）．报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；（略）．附件及（略）配件、备品备件的要求：提供电子枪坩埚（略）套，蒸发舟（略）套，常用密封圈及耗材一批；（略）.蒸发的材料（略）、ITIO、IWO、IO（略）、NiOx、MoO3、SnO2、Ag、Al、Cu、Au、Ti,W,Sb,Ru,Sc,Pt等金属和金属氧化物及有机材料。质保期中标商提供一年质保，质保期间不收取材料费，维修费及人工服务费。质保期从设备验收完成开始计算售后要求1.中标商应在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。在前述保修期内，如货物出现损坏和故障，招标人报修后，【（略）】小时内响应，【（略）】小时内派员上门（略）维护，并在【（略）】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。2.中标商必须在售前、售中、售后均可以用英语或者俄罗斯语无障碍地与招标项目人进行书面和口头的沟通。付款方式合同生效并收到相应发票后（略）合同总额的（略）％作为进度款；设备到达指定安装（略）且安装、调试合格并提供全额发（略）确认无质量问题后（略）％的货款。交货期合同签订后（略）天（自然日）内，具体（略）要求提前7天（自然日）通知送货1.欢迎有意向的供应商（略）参与竞采；2. 未注册的供应商请（略）供应商后参与项目竞采；3.如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1个工作日（略）提交咨询或质疑，逾期不受理。
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